氦质谱检漏仪的校准方法

氦质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

氦质谱检漏仪原理:

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。

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氦质谱检漏仪的主要及时指标

北京科创鼎新真空技术有限公司（简称：科创真空）是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的专业化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。

1. 较小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s

2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

3. 启动时间：≤5min

4. 响应时间：≤1s

5. 检漏口的较高压力：1500Pa

6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A

7. 工作环境：5-35℃

8. 相对湿度：≤80%

9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）

10. 重量：64kg

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氦质谱检漏的成本控制

氦质谱检漏相对于其他的检漏方法，因使用抽真空机组及高纯氦气其经济成本居高不下。笔者在生产制造检测中摸索出一整套减少检测费用的方法，使氦质谱检漏具备了在板翅式换热器生产中大规模使用的可能。

检漏口真空度的控制

根据NB/T 47006 铝制板翅式热交换器中A.5 氦质谱检漏和JB/T 7261 铝制板翅式热换器中漏率要求，检漏口真空度一般要求为：1.33Pa。

在设计图样及供货合同中对检漏口真空度有明确要求的，按照其要求的检漏口真空度进行检测;如果没有要求，根据大量的检测经验，将检漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa，这样的一个检漏口真空度并没有降低检测的准确性，但其抽真空所需的电费能减少20%-50%。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar。

氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面

1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节0点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。